電子工業潔凈室除有一般給排水要求外，還有純水要求。我國電子級的純水技術指標如下圖所示。
圖1
從上面圖可見，水質中對微生物的量也有很嚴的要求。
硅是以有機物和化合物的形式在硅片上留下痕跡的。金屬的影響將降低產品壽命。
潔凈度級別（ISO）在高于6級（不含）時，室內不應設地漏，6級室內必須設地漏時，應采用潔凈專用地漏，7級及其以上潔凈室不宜設排水溝，如必須設時，應在進入室外管網處設水封，此類等級潔凈室也不允許排水立管在室內穿過電子工業潔凈室純水供應一般采用單管式循環系統，當對水質要求十分嚴格時，應采用雙管式循環系統（例如單晶硅圓片的生產）純水管材質可以在以下幾種材質中選擇:
低碳優質不銹鋼管（304、304L、316、316L）、聚氯乙烯管、聚丙烯管、丙烯腈丁二烯苯乙烯管、聚偏二氟乙烯管
電子工業潔凈室常大量使用氫氣、氧氣、氮氣、氬氣和氦氣等，也使用一些特殊氣體，如硅烷等有毒和有爆炸危險的氣體。
設有氫氣等可燃氣體管道的場所，列人甲類火災危險區。氫氣、氧氣管道的末端或最高點應設高于屋面最高處1m以上的放散管。日用量不超過1瓶時，氣瓶可放在潔凈室內。
特種氣體存放量不得超過1d的用量。可燃和有毒的特種氣體瓶應設在通風柜中，不間斷通風。硅烷或硅烷混合物只能單瓶存放于氣柜中。
氣體管道中的氣體露點低于60℃時，管道內壁應拋光。
電子工業潔凈室的生產區、技術夾層、機房、站房等處均應設火災探測器，在空調凈化系統與新風混合前的回風管道中設置早期火災探測器。
電子工廠潔凈用房用電等級和供配電要求除考慮生產工藝外，應遵循國標《供配電系統設計規范》的規定，這里不再說明。